物理净化方式①　机械过滤：HEPA网，中文意思是高4效空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气通过，但小颗粒不能通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜组成，以形成用于放置和支撑过滤边界的波状垫片。②　吸附过滤即活性炭。活性炭是一种多孔含碳材料，具有高度发达的孔结构。②施工工艺：基层检查、清理→分格弹线→刷胶→铺贴→开槽→焊缝→清洗打腊→验收。

手术室的装修施工（1）手术室内墙面、顶棚抹灰① 辅助用房和手术室吊顶以上墙面和顶棚抹灰采用高1级抹灰标准控制，并进行充分养护。② 踢脚略缩进墙面2～3mm，手术室踢脚与地面水泥活时成一整体，踢脚与地面交界处的阴角做成R≥40mm的圆角。③ 墙体转角和门的竖向侧边的阳角做成圆角。通道两侧及转角处墙上设防撞板。（注：正压差在一种情况下有所例外：即蒸镀机构在处理某些有害物质时要求房间处于负压）。

手术室及洁净辅助用房的外窗必须是双层密闭窗。 外窗框与墙体之间的缝隙在室内即正压面采用硅酮胶封闭，传递窗窗框与墙体的缝隙在墙体两侧用硅酮胶封闭，传递窗两侧的门扇要具有联锁装置。门框与门扇的缝隙周边连续敷设弹性密封条，使门关闭后形成密闭的密封线。 配电盘要求防尘，柜安装前要做卫生，安装后还要做卫生，并能使门关闭严密。安装插座、插座箱及线盒内必须打扫干净，紧贴墙面，安装端正。吸顶式灯具要紧贴吊顶，擦拭干净，所有进出管头都要采取密封措施。空气分子控制主要应对空气分子污染(AMC)，这类污染的控制要比粒子污染困难许多。

可以认为,当今微污染控制领域诸多科技成果的出现无不与集成电路生产的飞速发展有关。集成电路工厂的前工序(硅片加工)对微环境控制为严格。在防微振方面,要求工厂建造在远离铁路、机场、公路干线且绿化较好的地区,厂区总平面布置要求单建的动力站房与洁净厂房之间留有足够的距离。我国对防微振的研究及工程实践始于20世纪60年代初期,经历了几代人的努力,不仅建立和完善了防微振理论,开发了防微振用系列化隔振产品。和百级以上洁净间絮流方式(即空气以不均匀的速度呈不平行流线流动)相比较，它具有效果完全、运转迅速稳定、使得空气的尘埃粒子含量少，控制管理方便容易等优点，但是设备价格高令一些中小厂家难以承受，维护费用也很高。